MILA-700AR風冷桌面型快速退火爐
MILA-700AR是一款風冷桌面型的快速退火爐。相較于MILA-5000,該設備加熱過程中不需要外接水冷,可由設備自身配置的風冷系統(tǒng)進行降溫。
應用 | 特點: |
1. 晶圓,復合晶圓的快速加熱 | 1. 50°C / s快加熱 |
2. 光化學氣相沉積襯底加熱 | 2. 可在真空,惰性氣體,流動氣氛,空氣的氣氛下進行加熱 |
3. 熱循環(huán)測試 | 3. 精確的溫度控制 |
4. 涂膜的耐熱性評估 | 4. 緊湊的臺式設計,工作無需匹配水冷循環(huán)系統(tǒng) |
5. 有機材料和樹脂的加熱和干燥 |
參數(shù)